能研8745 - 气体流量控制器 (MFC)/流量测量仪的操作使用

8745 型质量流量控制器/质量流量计适用于大量气体的质量流量调控。8745 型设备可以根据需要配置为 MFM 或 MFC。

可以选择校准四种不同的气体。直接位于气流中的 Inline 热传感器能够达到非常快的响应速度。

一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备的控制特性。

8745 型作为 MFC 提供两种规格：带电磁比例阀和带电动比例阀

以下是一份气体质量流量控制器的一般使用说明：

一、安装

1. 选择合适的安装位置，确保环境温度、湿度等符合设备要求。

2. 按照设备手册正确连接气体入口和出口管路，注意密封良好。

二、预热

在使用或长时间未使用后，需进行适当时间的预热，以确保测量准确性。三、设置与操作

1. 通过控制面板或配套软件设置所需的流量值。

2. 可根据需要选择不同的单位（如 SCCM、SLPM 等）。

3. 确认设定的气体类型与实际使用的气体相符。

四、运行与监测

1. 开启气体供应，观察流量显示是否稳定在设定值附近。

2. 定期检查显示数值与实际需求是否一致。

五、维护与保养

1. 定期清洁设备表面，防止灰尘等杂质影响性能。

2. 按照规定的时间间隔进行校准，以保证测量精度。

3. 如发现故障或异常，应及时停止使用并联系专业人员维修。

六、注意事项

1. 严格按照设备规定的压力、温度范围操作。

2. 避免强烈震动和冲击。

3. 对不同气体可能需要特定的使用要求，务必遵循相关规定。