日本富士FUJI超声波浓度计*

超声波液体浓度计 单成分用

半导体制造程序选件

FUD-1 Model-12/1006

测量原理

超声波在液体中非常易于传播。

超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响。

「浓度变化」→ 「密度变化」→「音速变化」

本产品利用超声波的特性，高精度的测量溶液的浓度。

测量「溶液的温度」+「超声波的速度」→通过CPU演算处理→浓度显示

構成図

FUD-1　Model-12

用途

CMP泥浆浓度或者CMP泥浆浓度中的H₂O₂的浓度测量

洗净液浓度测量（（HF、NH₃、H₂O₂、BHF、KOH、IPA等）

稀释装置浓度测量（HF、NH₃、H₂O₂、BHF、KOH、H₂SO₄、HCI、HNO₃等）

蚀刻过程中的浓度测量（HF、H₂SO₄ 等）

特长

可根据检量线的交换测量各种半导体药液的浓度。

发信器小型、轻量，可直接在线装置。

免保养设计。

接液部分全部采用（PFA)材料。

小型输出设计，对药液没有影响。

主要参数