日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计

日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计

产品简介
高精度·高稳定测量等，成为回答顾客的需求的FUD-1 Model-13的上位机种被定位的模型。

日本富士FUJI超声波高精度单成分浓度计

FUD-1　Model-130

单成分浓度计的特点

Model-130是重视测量浓度稳定性的概念模型
半导体制造工序等的高精度·高稳定浓度计方面被认为是必要的景色发挥效果。
优点，优点

高精度连续计测可能
无需定期调整、校对，无需维护
设置时的各种调整等不需要也容易设置
由于实时输出的工程的反馈也容易

用途

在CMP工序中的CMP衬垫或氧化剂浓度管理等
稀释工程的各种药液浓度管理等（H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCl等）
在清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF・NH4OH・KOH・IPA等）
蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等（HF・H2SO4等）

规格

形式：FUD-1 Model-130
测量参数超声波传播速度・温度
显示：LCD(浓度、温度、音速/各种参数)
输出信号DC4～20mA (浓度值可任意设定)
数字RS232C (浓度、温度、音速、错误代码)
警报上限测量异常.
电源AC100V～240V 50/60Hz两用30VA (DC24V也可使用)
结构：面板挂载型（根据DIN标准）
功能输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移及增益设定功能、自我诊断功能、安全功能、异常值取消功能
选项温度输出（DC4～20mA）
频道大10Ch
电缆6m
接液部材PFA涂层
接头称呼直径1/2～1英寸可对应各种
测量环境转换器
10～40℃
RH85%以下
发信器5～45℃
测量液温度0～50℃
耐压0.3MPa
流量5l/min以下

如有需求，请见：  日本富士FUJI超声波浓度计