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日本易威奇IWAKI
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易威奇生产的化工泵种类齐全,从1956年创立开始,不断研制推出多系列宽用途的新产品,至今已有500多个标准型号,从结构轻巧精密的OEM(设备配套)产品,到zui高级别的「氟材质磁驱离心泵」、「定量添液泵」和「水质控制器」,易威奇化工泵广泛应用于化工、石化、环保、电镀、印刷电路板、造纸、及半导体等行业。
日本易威奇IWAKI全氟材质高精度分辨率泵CFD 系列:
高分辨率
小流量达1mL/shot,为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制,提供更高的准确性。CFD系列能提供准确流量,防止过量添加或液体浪费。此外,防虹吸设计防止意外吸入。
耐腐蚀过流端
氟材质口过流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水。针对化学腐蚀,PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护。
宽广的吐出率调节
打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定是1.0ml/shot)。
配备泄漏传感器
每台泵都配有泄漏传感器,可实时检测任何泄漏情况。
日本易威奇IWAKI全氟材质高精度分辨率泵规格:
大吐出量
1 mL/shot
大吐出压力
0.05 MPa
大冲程率
30 spm
主要材质
PTFE, PFA, PCTFE
液体输送温度范围
20 ~ 60 °C
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